在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈博弈加劇的背景下,中國高端裝備核心部件領(lǐng)域再傳捷報(bào)。國內(nèi)旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)騰旋科技,自主研發(fā)的旋轉(zhuǎn)接頭通過半導(dǎo)體行業(yè)頭部企業(yè)驗(yàn)證,從樣品測(cè)試到量產(chǎn),已累計(jì)交付300多臺(tái)旋轉(zhuǎn)接頭,保證設(shè)備的長效穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn),成功打破國外品牌長期的技術(shù)壟斷。
目前騰旋已與多家半導(dǎo)體行業(yè)龍頭企業(yè)達(dá)成戰(zhàn)略合作,在半導(dǎo)體拋光機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、減薄機(jī)等半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化配套。

半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)旋轉(zhuǎn)接頭的潔凈度、密封性和壽命要求極為嚴(yán)苛,騰旋博士團(tuán)隊(duì)正向研發(fā),實(shí)現(xiàn)超長壽命(6億轉(zhuǎn))、低扭矩(≯1.5NM)、低泄漏量(≤0.5kPa/min)及真空環(huán)境下(-90kPa至450kPa)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的多通路機(jī)械密封式旋轉(zhuǎn)接頭設(shè)計(jì)制造技術(shù)。這不僅是動(dòng)密封技術(shù)的突破,更是高端裝備自主可控的重要里程碑。
憑借突破性創(chuàng)新,經(jīng)國家制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)大基金推薦,騰旋高精特產(chǎn)品入選工信部組織的"專精特新"小巨人企業(yè)卡脖子、補(bǔ)短板產(chǎn)品展,半導(dǎo)體旋轉(zhuǎn)接頭、航空機(jī)械密封、航空旋轉(zhuǎn)接頭、機(jī)床高速旋轉(zhuǎn)接頭等,共同亮相北京工信部一樓展廳,展期1個(gè)月。
此次在工信部展廳的聚光燈下,既是肯定,更是號(hào)角。未來,騰旋將持續(xù)深耕密封行業(yè),助推半導(dǎo)體、航空等產(chǎn)業(yè)升級(jí),讓世界看見中國智造的硬核突破!